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      潔凈室塵埃粒子檢測標準操作規程

      華銳凈化 2021-05-08 15:00 閱讀

      潔凈室塵埃粒子檢測標準操作規程潔凈室塵埃粒子檢測標準操作規程

      潔凈室塵埃粒子檢測標準操作規程


      文件名:潔凈室塵埃粒子檢測標準操作規程

      文件編號:ZL/SOP/ZK/02100

      制定人:

      日期:     年  月  日

      文件類型:工作標準

      審核人:

      日期:     年  月  日

      版   次:第一版

      批準人:

      日期:     年  月  日

      印   數:共5份

      生效日期:                          年  月  日

      頒發部門:綜合辦公室

      分發至: 質量副總經理、質量管理部、QC檢驗室、綜合辦公室

      變更記載

      修訂號

      修訂人

      批準日期

      生效日期

      原 因 及 目 的


























      ⒈      目的:闡述潔凈室(區)中懸浮粒子的測試方法,用以規范員工的檢測操作。

      ⒉      范圍:適用于公司內部生產潔凈區塵埃粒子檢測工作

      ⒊      責任:生產車間、生產部、質量管理部、QC檢驗室主任、檢驗員。

      ⒋      測依據:

      ⒌      內容:

      5.1儀器:光散射粒子計數器和濾膜顯微鏡。

      光散射粒子計數器用于粒徑≥0.5μm;濾膜顯微鏡用于粒徑≥5μm的懸浮粒子的計數。使用光散射粒子計數器時應嚴格按照儀器說明書操作。

      5.2         測定標準  

      潔凈度

      級別

      懸浮粒子最大允許數/立方米(a)

      頻次

      靜態(b)

      動態(b)

      ≥0.5μm(d)

      ≥5μm

      ≥0.51μm(d)

      ≥5μm

      100級

      3500

      1

      3500

      1

      一次/月

      10000級

      3500

      1

      350000

      2000

      一次/月

      100000級

      350000

      2000

      3500000

      20000

      一次/月

      300000級

      3500000

      20000

      不作規定

      不作規定



      5.3 測試方法

      5.3.1 儀器開機,預熱至穩定后,方可按說明書的規定對儀器進行校正。

      5.3.2 采樣管口置采樣點采樣時,在確認計數穩定后方可開始連續讀數。

      5.3.4 采樣管必須干凈、嚴禁滲漏。

      5.3.5 采樣管的長度應根據儀器的允許長度,除另有規定外,長度不大于1.5m。

      5.3.6 計數器采樣口和儀器工作位置應處在同一氣壓和溫度下,以免產生測量誤差。

      5.3.7 必須按照儀器的檢定周期,定期對儀器作檢定,以保證測試數據的可靠性。


      5.4 測試規則

      5.4.1測試條件

      5.4.1.1 溫度和濕度:潔凈室的溫度和相對濕度應與其生產及工藝要求相適應,溫度控制在18~26℃,相對濕度控制在45~65%之間為宜。

      5.4.1.2 壓差:空氣潔凈度不同的潔凈室(區)之間的壓差應≥5Pa,空氣潔凈度級別要求等高的潔凈室(區)對相鄰的空氣潔凈度級別低的潔凈室(區)一般要求呈相對正壓。

      5.4.2 測試狀態:有靜態測試和動態測試。

      5.4.2.1 靜態測試時室內空調系統已處于正常運行狀態,測試人員不得多于2人。塵埃粒子數必須符合規定。

      5.4.2.2 動態測試時已處于正常生產狀態,所產生粒子不影響最終產品的作業,可允許超出標準,但當操作完成10分鐘后,粒子水平必須恢復到以潔凈區塵粒最大允許數范圍之內,應定期監控動態條件下的潔凈狀況。

      5.4.2.3 測試報告中應標明測試時所采用的狀態。

      5.4.3 測試時間:對單向流,測試應在凈化空調系統正常運行時間不少于30分鐘后開始。

      5.4.4 懸浮粒子計數

      5.4.4.1采樣點數目及其布置

      5.4.4.1.1 采樣點數目及其布置應根據產品的生產及工藝關鍵操作區設置。

      5.4.4.1.2 采樣點布置要求均勻,避免采樣點在某局部區域過于稀疏。

      5.4.4.1.3 采樣點一般在工作臺面上0.2m高度的平面上均勻布置。

      5.4.4.2 采樣點的限定:對于任何小或局部空氣凈化區域,采樣點的數目不得少于2個,總采樣次數不得少于5次。每個采樣點采樣次數可以多于1次,但不同采樣點的采樣次數可以不同。


      最少采樣點數目

      面積m2

      潔凈度級別

      100

      10000

      100000

      <10

      ≥10<20

      ≥20<40

      ≥40<100

      ≥100<200

      ≥200<400

      ≥400<1000

      ≥1000<2000

      2000

      2~3

      4

      8

      16

      40

      80

      160

      400

      800

      2

      2

      2

      4

      10

      20

      40

      100

      200

      2

      2

      2

      2

      3

      6

      13

      32

      63

      注:表中的面積,對于單向流潔凈室,是指送風面積,對于非單向流潔凈室,是指房間面積。


      5.4.4.3 采樣量:   

      最小采樣量

      潔凈度級別

      采樣量,升/次

      ≥0.5μm

      ≥5μm

      100

      10000

      100000

      300000

      5.66

      2.83

      2.83


      _

      8.5

      8.5

      5.4.4.4 采樣注意事項

      5.4.4.4.1 在確認潔凈室(區)送風和壓差達到要求后,方可進行采樣。

      5.4.4.4.2 對于單向流,計數器采樣管口朝向應正對氣流方向,對于非單向流,采樣口宜向上。

      5.4.4.4.3布置采樣點時,應避開回風口。

      5.4.4.4.4 采樣時,測試人員應在采樣口的下風側。

      5.4.4.4.5 懸浮粒子濃度的采樣數據應按下述步驟作統計計算。

      5.5 結果計算 

                                  C1+C2+------+CN

      5.5.1 采樣點的平均粒子濃度A= ————————

                                        N

      式中:

      A--某一采樣點的平均粒子濃度,粒/m3;

      Ci--某一采樣點的粒子濃度(i=1,2,---,N),粒/m3;

      N--某一采樣點上的采樣次數,次。

                           A1+A2+---+AL

      5.5.2 平均值的均值M= ————————

                              L

      式中

      M——平均值的均值,即潔凈室(區)的平均粒子濃度,粒/m3;

      Ai——某一采樣點的平均粒子濃度(i=1,2,---,L),粒/m3;

      L——某一潔凈室(區)內的總采樣點數,個。

      5.5.3 標準誤差  SE= 式中

      SE——平均值的標準誤差,粒/m3。


      5.5.4 置信上限

      UCL=M+t×SE

      式中:UCL——平均值均值的95%置信上限,粒/m3;

      t ——95%置信上限的t分布系數。


      95%置信上限的t分布系數

      采樣數L

      2

      3

      4

      5

      6

      7

      8

      9

      >9

      t

      6.31

      2.92

      2.35

      2.13

      2.02

      1.94

      1.90

      1.86

      -

      注:當采樣點多于9點時,不需要計算UCL。

      5.6 結果評定:判斷懸浮粒子潔凈度級別應依據下述二個條件。

      5.6.1 每個采樣點的平均粒子濃度必須低于或等于規定的級別界限,即Ai≤級別界限。

      5.6.2 全部采樣點的粒子濃度平均值的均值的95%置信上限必須低于或等于規定的級別界限,即UCL≤級別界限。

      5.7 當連續三次樣品測試結果超過警戒指標,或單位樣品的結果特別高時,應著手采取措施。

      5.8 用標有頁碼記錄本記錄潔凈室懸浮粒子測試實驗,內容包括:部門、試狀態、測試時間、標準、測試結果、結果計算、結果評定等所有記錄必須有實驗員簽名,并交質量管理科負責人簽字。

      5.9 記錄本應保存至最后一次記錄后的三年。 

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